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zju2015

新虫 (初入文坛)

[求助] 薄膜铂电阻的基片选择 已有3人参与

现在要做一个薄膜铂电阻,请问基片选择什么比较好?            普通硅片、SOI、氧化铝陶瓷、还是玻璃?
一般基片与顶层铂电阻层之间还需要其他金属膜作为过渡层吗?
第一次接触这个东西,没有任何经验,请问有没有做过的?给点建议吧
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zju2015: 金币+2 2015-11-18 19:04:37
镀铂,前面要镀钛或铬的
2楼2015-11-18 15:29:38
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13613627346

新虫 (小有名气)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zju2015: 金币+1 2015-11-19 10:31:33
我们有做好的度铂硅片,结构为si/sio2   500nm/Ti  20nm/pt150nm,有需要可联系我,账号手机直接购买!

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3楼2015-11-19 07:22:55
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e7013154

捐助贵宾 (职业作家)


需要采购基片或镀膜联系我们吧

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4楼2015-11-19 08:12:08
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
zju2015: 金币+1 2015-11-19 14:50:05
陶瓷比较好,Ti做过度层。
5楼2015-11-19 14:17:06
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倦书徐行

银虫 (小有名气)

同问啊楼主,我想问一下氧化硅作基底是否可行,
而且有没有成熟的溅射参数呀?
6楼2017-02-28 15:17:08
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 13613627346 at 2015-11-19 07:22:55
我们有做好的度铂硅片,结构为si/sio2   500nm/Ti  20nm/pt150nm,有需要可联系我,账号手机直接购买!

你的片子pt面电阻大概是多少

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7楼2017-04-17 10:57:05
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