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yinxiaomu

银虫 (正式写手)

[求助] EBL 套刻 偏差大

我是EBL新手,最近在做套刻的时候,发现偏差好大,意思是根据某个纳米线位置画好电极的图,拿去曝光之后,电极的实际位置不在线上,与线有几个微米的距离。请大神们帮助,这是什么原因造成了啊,怎么解决了,谢谢啦!
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太白诗仙

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

套刻精度不够吧,需要反复对准一下吧。不同的仪器应该是有所不同。加油。
4楼2016-05-03 16:10:43
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丁勤奋

金虫 (小有名气)

2楼2015-11-18 11:06:06
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yinxiaomu

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 丁勤奋 at 2015-11-18 11:06:06
加油

谢谢
3楼2015-11-18 13:33:31
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