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yinxiaomu银虫 (正式写手)
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[求助]
EBL 套刻 偏差大
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| 我是EBL新手，最近在做套刻的时候，发现偏差好大，意思是根据某个纳米线位置画好电极的图，拿去曝光之后，电极的实际位置不在线上，与线有几个微米的距离。请大神们帮助，这是什么原因造成了啊，怎么解决了，谢谢啦！ |
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4楼2016-05-03 16:10:43
2楼2015-11-18 11:06:06
yinxiaomu
银虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
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- 散金: 550
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- 在线: 360.5小时
- 虫号: 1169239
- 注册: 2010-12-13
- 专业: 马克思主义思想史
3楼2015-11-18 13:33:31
