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yinxiaomu银虫 (正式写手)
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EBL 套刻 偏差大
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| 我是EBL新手,最近在做套刻的时候,发现偏差好大,意思是根据某个纳米线位置画好电极的图,拿去曝光之后,电极的实际位置不在线上,与线有几个微米的距离。请大神们帮助,这是什么原因造成了啊,怎么解决了,谢谢啦! |
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2楼2015-11-18 11:06:06
yinxiaomu
银虫 (正式写手)
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3楼2015-11-18 13:33:31
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