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langjia

木虫 (正式写手)

[求助] 微纳压印的光刻胶选择问题

大家好,目前需要做实验
大概目的是复制模板的表面微纳结构:

原来的实验是:1、PMDS复制反模,2、有机无机杂化溶胶做正像结构,3、压印后掀起PMDS反模时,溶胶粘在反模结构中,无法成型。

现在这样想:1、光刻胶正性胶做反模,2、将刻胶反模压印,3、光照分解,洗掉反模,保留正像。

不知道这个想法是否可行,还有哪位大侠能推荐用什么光刻胶?

十分感谢,回答请选应助,以便我给您加金币,谢谢!!
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