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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 直流磁控溅射制备金属薄膜，薄膜中氧含量较高
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small421

新虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射制备金属薄膜，薄膜中氧含量较高 已有2人参与

采用直流磁控溅射制备金属薄膜，直径30mm的小靶，制备的薄膜中一直含有氧，氧含量大于20at%。设备极限真空可以10-6Pa，Ar气也是5个9的高纯Ar气。由于设备限制，沉积前Si片为溅射清洗，但先在上面镀了几十nm的金层，之后再镀膜的。求各位大神赐教，谢谢！
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薄膜制备与特性

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1楼 2015-11-18 08:37:13
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
感谢参与，应助指数 +1
换个靶材试试 或者是工艺流程有问题
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5楼2015-11-18 15:56:54
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gp0v0xy

新虫 (初入文坛)
确定不是在去测试的路上被氧化的？最好样品从腔体拿出来之后赶紧放到真空盒里保存

发自小木虫Android客户端
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9楼2015-11-18 18:14:50
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
small421: 金币+5, ★有帮助 2015-11-19 08:28:31
做个元素沿深度分析，确定O只是在表面还是在薄膜内也有。一般薄膜材料暴露大气候，都会吸附氧气和含氧有机污染物的。
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10楼2015-11-18 22:40:54
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lijia890

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
13楼2015-11-19 17:04:05
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普通回帖

small421

新虫 (初入文坛)
帖子不要沉哈，自己顶一个！
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2楼2015-11-18 08:50:34
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muxiao-chong

木虫 (正式写手)

炉火纯青
样品怎么保存的

发自小木虫Android客户端
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热热热
3楼2015-11-18 08:53:23
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主如何确定样品含O量在20at.%左右？
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4楼2015-11-18 10:45:05
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small421

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by dwysd at 2015-11-18 03:45:05
楼主如何确定样品含O量在20at.%左右？

采用AES测试的
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6楼2015-11-18 17:14:50
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small421

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by Friend007 at 2015-11-18 08:56:54
换个靶材试试 或者是工艺流程有问题

靶材是3个9的，稀土材料，比较容易氧化。做试验前，先清洗管路，之后溅射清洗靶材，最后沉积气压约0.7Pa，功率20W
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7楼2015-11-18 17:16:21
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small421

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by muxiao-chong at 2015-11-18 01:53:23
样品怎么保存的

样品从腔室拿出来后，很快送去做成分测试的
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8楼2015-11-18 17:17:32
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