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求问电子束蒸镀铝剥离的问题 已有4人参与
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| 各位大神好！小弟最近在做铝电极的蒸镀，用的金属材料是Ti (1.2 nm)/Al (20 nm)/Au (40 nm)，但是发现蒸镀以后非常难剥离，就是上超声效果也一般，求问各位是否也有类似的体验啊？能不能给说说原因和解决办法？谢谢大家！ |
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