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wlldhyzhndxl

新虫 (初入文坛)

[交流] 求问电子束蒸镀铝剥离的问题 已有4人参与

各位大神好!小弟最近在做铝电极的蒸镀,用的金属材料是Ti (1.2 nm)/Al (20 nm)/Au (40 nm),但是发现蒸镀以后非常难剥离,就是上超声效果也一般,求问各位是否也有类似的体验啊?能不能给说说原因和解决办法?谢谢大家!
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



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什么光刻胶啊?什么剥离方法啊?剥离液呢?
2楼2015-11-19 14:25:25
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li19910228

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
应该是丙酮剥离去胶吧,首先要浸泡很久,最少十二个小时,其次可以加热丙酮到120℃,然后可以超声,超声也可以加热试试

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3楼2015-11-19 17:00:42
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屠呦呦

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
胶多厚?是否有倒角?

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4楼2015-11-19 18:23:55
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1154606018

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问楼主找到原因及解决办法了吗,我也遇到同样问题

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5楼2016-03-29 10:59:55
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