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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 阳极氧化铝板（AAO）购买
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Vimon

铜虫 (正式写手)

[交流] 阳极氧化铝板（AAO）购买 已有2人参与

根据文献，如果做电子束蒸发、沉积或者刻蚀，双通AAO掩膜的厚度最好不能超过1000纳米即1微米，否则微粒很难通过孔洞到达衬底表面。

如此的话，查了下双通AAO的价格都很贵，大概500块/张吧。我计划用等离子体刻蚀RIE，需不需要AAO的厚度也在1um以下呢？求指教！

另外求虫友推荐靠谱的生产厂家，多谢！
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1楼 2015-11-14 20:13:50
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e7013154

捐助贵宾 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我们有采购渠道，需要吗？

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3楼2015-11-15 10:55:26
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Vimon

铜虫 (正式写手)
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2楼2015-11-15 09:46:19
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Vimon

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by e7013154 at 2015-11-15 10:55:26
我们有采购渠道，需要吗？

双通AAO，厚度多少？

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4楼2015-11-15 12:18:01
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