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Vimon铜虫 (正式写手)
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阳极氧化铝板（AAO）购买 已有2人参与
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根据文献，如果做电子束蒸发、沉积或者刻蚀，双通AAO掩膜的厚度最好不能超过1000纳米即1微米，否则微粒很难通过孔洞到达衬底表面。 如此的话，查了下双通AAO的价格都很贵，大概500块/张吧。我计划用等离子体刻蚀RIE，需不需要AAO的厚度也在1um以下呢？求指教！ 另外求虫友推荐靠谱的生产厂家，多谢！ |
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3楼2015-11-15 10:55:26
Vimon
铜虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
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- 专业: 工程热物理相关交叉领域
2楼2015-11-15 09:46:19
Vimon
铜虫 (正式写手)
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4楼2015-11-15 12:18:01
