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阳极氧化铝板(AAO)购买 已有2人参与
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根据文献,如果做电子束蒸发、沉积或者刻蚀,双通AAO掩膜的厚度最好不能超过1000纳米即1微米,否则微粒很难通过孔洞到达衬底表面。 如此的话,查了下双通AAO的价格都很贵,大概500块/张吧。我计划用等离子体刻蚀RIE,需不需要AAO的厚度也在1um以下呢?求指教! 另外求虫友推荐靠谱的生产厂家,多谢! |
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