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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 其它 » PDMS与玻璃等离子体键合一直键合不成功
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guomengyuan

新虫 (初入文坛)

[求助] PDMS与玻璃等离子体键合一直键合不成功 已有2人参与

新人一枚，做微流控方向，想请教，PDMS键合玻璃，等离子体键合一直键合不上，看文献用氧等离子体键合，一直不成功。后来用空气成功一次，后来再也不成功了。操作步骤和以前一样没问题，，想请教是什么原因呢
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1楼 2015-11-11 10:51:58
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kkf278895737

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
guomengyuan(pengtao1203代发): 金币+2 2015-11-14 14:33:10
调试键合强度时间，键合后烘一会会有助于贴合

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2015-11-13 21:26:59
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guomengyuan

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by kkf278895737 at 2015-11-13 21:26:59
调试键合强度时间，键合后烘一会会有助于贴合

谢谢啦，问题已经解决。是我太low了，原来是要两个东西分开等离子体轰击，然后手动键合的，不过还是谢谢啦。
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3楼2015-11-16 22:43:09
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lenovoesc

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by guomengyuan at 2015-11-16 22:43:09
谢谢啦，问题已经解决。是我太low了，原来是要两个东西分开等离子体轰击，然后手动键合的，不过还是谢谢啦。...

您好 我最近也遇到类似的问题 请问手动键合是指什么？ 您是怎么解决的？ 请赐教
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4楼2017-07-26 10:05:03
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重新出发ing

新虫 (小有名气)
楼主你好，我现在也是刚做微流控芯片，也是出现键合不了的问题，我试过直接清洗好玻璃，然后用等离子清洗机处理玻璃和pdms。也试过先将玻璃用浓硫酸和双氧水（7:3）处理，再用等离子清洗机处理玻璃和pdms也还不行。可以分享一下成功的方法吗。谢谢了
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5楼2018-04-28 15:53:28
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重新出发ing

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 重新出发ing at 2018-04-28 15:53:28
楼主你好，我现在也是刚做微流控芯片，也是出现键合不了的问题，我试过直接清洗好玻璃，然后用等离子清洗机处理玻璃和pdms。也试过先将玻璃用浓硫酸和双氧水（7:3）处理，再用等离子清洗机处理玻璃和pdms也还不行。 ...

你好，请问键合的问题解决了吗。我最近也是一直键合不了，可以分享一下成功的经验吗。谢谢了
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6楼2018-05-29 20:45:23
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ptldqkj

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

等离子键合需要合理的参数，这个需要根据使用的设备进行试验摸索才能得到最佳的参数，我们用的是PTL-VM500的，不同的设备参数是不一样的，只能通过试验优化
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7楼2018-08-20 15:39:50
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