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哪些品牌光刻胶可以耐高温160度以上，且对热磷酸的耐受度较好！ 已有2人参与
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| 想用热磷酸腐蚀氮化硅，用光科胶做选择性腐蚀！烘干加热都正常，原来以为是光刻胶受潮，加大烘干的时间，但是在磷酸里加热，依旧会在120度左右光刻胶表面忽然出现大量小气泡。个人推测是不是光刻胶里面的成分和热磷酸发生了反应，亦或光刻胶对高温的耐受度不行。哪位同行做过相关工作，尤其是做过氮化硅湿法刻蚀的工作的，请教下。 |
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yswyx 
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5楼2015-12-11 12:53:56
