| 查看: 1855 | 回复: 4 | |||
[求助]
哪些品牌光刻胶可以耐高温160度以上，且对热磷酸的耐受度较好！已有2人参与
|
| 想用热磷酸腐蚀氮化硅，用光科胶做选择性腐蚀！烘干加热都正常，原来以为是光刻胶受潮，加大烘干的时间，但是在磷酸里加热，依旧会在120度左右光刻胶表面忽然出现大量小气泡。个人推测是不是光刻胶里面的成分和热磷酸发生了反应，亦或光刻胶对高温的耐受度不行。哪位同行做过相关工作，尤其是做过氮化硅湿法刻蚀的工作的，请教下。 |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有109人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2015-11-10 08:50:04
3楼2015-11-10 16:47:11
4楼2015-12-03 16:03:57
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
大白小: 金币+8, ★★★很有帮助 2015-12-11 14:24:28
大白小: 金币+8, ★★★很有帮助 2015-12-11 14:24:28
|
本帖内容被屏蔽 |
5楼2015-12-11 12:53:56