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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 哪些品牌光刻胶可以耐高温160度以上，且对热磷酸的耐受度较好！
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大白小

捐助贵宾 (小有名气)

[求助] 哪些品牌光刻胶可以耐高温160度以上，且对热磷酸的耐受度较好！ 已有2人参与

想用热磷酸腐蚀氮化硅，用光科胶做选择性腐蚀！烘干加热都正常，原来以为是光刻胶受潮，加大烘干的时间，但是在磷酸里加热，依旧会在120度左右光刻胶表面忽然出现大量小气泡。个人推测是不是光刻胶里面的成分和热磷酸发生了反应，亦或光刻胶对高温的耐受度不行。哪位同行做过相关工作，尤其是做过氮化硅湿法刻蚀的工作的，请教下。
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一万年太久，只争朝夕
1楼 2015-11-09 16:26:27
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
RIE干刻好了，耐高温的胶很贵很难买的。
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2楼2015-11-10 08:50:04
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大白小

捐助贵宾 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-10 08:50:04
RIE干刻好了，耐高温的胶很贵很难买的。

考虑用ICP，就几十纳米左右，不希望过刻蚀，影响下面的结构
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一万年太久，只争朝夕
3楼2015-11-10 16:47:11
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PXweng

新虫 (初入文坛)
用Plasm扫下就可以了吧，干法应该更精准吧

发自小木虫IOS客户端
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有事电话说嘛13925288900
4楼2015-12-03 16:03:57
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
大白小: 金币+8, ★★★很有帮助 2015-12-11 14:24:28
本帖内容被屏蔽
5楼2015-12-11 12:53:56
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