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多户离子镀TiAlN靶材不能正常引弧，急急急 已有1人参与
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| 小弟在做多户离子镀TiAlN，抽完真空，辉光清洗之后，靶材不能引弧。具体情况就是打开多户电源后，靶材引弧了，然后过了不到1分钟，弧光灭了，之后继续打靶又有了，一会又灭了。。。之前怀疑是靶面到引弧头的距离太短了，调到8mm，但是还是不行。可是之前本科生毕业设计这个距离能正常工作啊。现在不知道到底什么原因导致的，请求各位大神给点宝贵的意见，谢谢了.. |
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匿名
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