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多户离子镀TiAlN靶材不能正常引弧,急急急 已有1人参与
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| 小弟在做多户离子镀TiAlN,抽完真空,辉光清洗之后,靶材不能引弧。具体情况就是打开多户电源后,靶材引弧了,然后过了不到1分钟,弧光灭了,之后继续打靶又有了,一会又灭了。。。之前怀疑是靶面到引弧头的距离太短了,调到8mm,但是还是不行。可是之前本科生毕业设计这个距离能正常工作啊。现在不知道到底什么原因导致的,请求各位大神给点宝贵的意见,谢谢了.. |
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