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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 【请教】10nm左右的金属过渡层怎么测定成分？
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csupmzs

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】10nm左右的金属过渡层怎么测定成分？

10nm的金属过渡层怎么测定其属于什么化合物？过渡层两端的金属已知

[ Last edited by dlwang on 2008-10-16 at 12:21 ]
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1楼 2008-09-10 23:19:41
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xgyanger

木虫 (著名写手)
★
dlwang(金币+1,VIP+0):谢谢回复，欢迎常来材料版：）
1.XPS结合Ar离子刻蚀技术做剖面分析
2. TEM做超薄切片，做EDAX或EELS类分析
3. SEM也可以做局部EDAX分析
以上都有可能做mapping，不过XPS的mapping的精度可能不够
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2楼2008-09-10 23:51:39
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guandonghust

铜虫 (正式写手)
10nm，你怎么达到的？
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3楼2008-10-16 11:46:32
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csupmzs

木虫 (小有名气)
形成了过渡层，过渡层就10nm
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4楼2008-10-19 08:47:37
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gggarnet

金虫 (正式写手)
★
张甜(金币+1,VIP+0):谢谢应助，欢迎常来~~
.XPS安深度分析
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5楼2008-10-19 09:59:10
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cjpang

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by gggarnet at 2008-10-19 09:59:
.XPS安深度分析

同意。若重在测厚度，TEM最准；但重在测组成，XPS精度还是较高的，能达1-3%左右。另外，也要看组成元素，XPS检测原子量不是很大的元素出峰较易，若是重元素，我也不清楚了。
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6楼2009-01-05 06:11:49
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guojunl2003

金虫 (著名写手)
SIMS  我用过的， 可以测定相对含量的比较
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7楼2009-05-18 17:48:53
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tony_zk

新虫 (正式写手)
atom probe，样品用FIB制备
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8楼2009-05-18 21:05:00
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hotday

金虫 (著名写手)

合金粉末工程师
10nm怕是只能用原子探针了吧，很贵
同步辐射也有可能，也不便宜
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活着，就是向圣贤和傻瓜学习
9楼2009-05-18 22:38:11
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yhw9102

木虫 (小有名气)
10nm的厚度
用XPS或者AES结合Ar离子溅射做成分分析是最好的
若考虑化学态为重 用XPS
若考虑深度分辨率为重 用AES
溅射速率在1nm或者0.5nm/min比较好
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10楼2009-05-19 09:55:15
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