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csupmzs

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】10nm左右的金属过渡层怎么测定成分?

10nm的金属过渡层怎么测定其属于什么化合物?过渡层两端的金属已知

[ Last edited by dlwang on 2008-10-16 at 12:21 ]
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xgyanger

木虫 (著名写手)


dlwang(金币+1,VIP+0):谢谢回复,欢迎常来材料版:)
1.XPS结合Ar离子刻蚀技术做剖面分析
2. TEM做超薄切片,做EDAX或EELS类分析
3. SEM也可以做局部EDAX分析
以上都有可能做mapping,不过XPS的mapping的精度可能不够
2楼2008-09-10 23:51:39
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guandonghust

铜虫 (正式写手)

10nm,你怎么达到的?
3楼2008-10-16 11:46:32
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csupmzs

木虫 (小有名气)

形成了过渡层,过渡层就10nm
4楼2008-10-19 08:47:37
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gggarnet

金虫 (正式写手)


张甜(金币+1,VIP+0):谢谢应助,欢迎常来~~
.XPS安深度分析
5楼2008-10-19 09:59:10
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cjpang

金虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by gggarnet at 2008-10-19 09:59:
.XPS安深度分析

同意。若重在测厚度,TEM最准;但重在测组成,XPS精度还是较高的,能达1-3%左右。另外,也要看组成元素,XPS检测原子量不是很大的元素出峰较易,若是重元素,我也不清楚了。
6楼2009-01-05 06:11:49
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guojunl2003

金虫 (著名写手)

SIMS  我用过的, 可以测定相对含量的比较
7楼2009-05-18 17:48:53
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tony_zk

新虫 (正式写手)

atom probe,样品用FIB制备
8楼2009-05-18 21:05:00
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hotday

金虫 (著名写手)

合金粉末工程师

10nm怕是只能用原子探针了吧,很贵
同步辐射也有可能,也不便宜
活着,就是向圣贤和傻瓜学习
9楼2009-05-18 22:38:11
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yhw9102

木虫 (小有名气)

10nm的厚度
用XPS或者AES结合Ar离子溅射做成分分析是最好的
若考虑化学态为重 用XPS
若考虑深度分辨率为重 用AES
溅射速率在1nm或者0.5nm/min比较好
10楼2009-05-19 09:55:15
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