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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 【请教】10nm左右的金属过渡层怎么测定成分？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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csupmzs

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】10nm左右的金属过渡层怎么测定成分？

10nm的金属过渡层怎么测定其属于什么化合物？过渡层两端的金属已知

[ Last edited by dlwang on 2008-10-16 at 12:21 ]
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1楼 2008-09-10 23:19:41
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csupmzs

木虫 (小有名气)
形成了过渡层，过渡层就10nm
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4楼2008-10-19 08:47:37
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xgyanger

木虫 (著名写手)
★
dlwang(金币+1,VIP+0):谢谢回复，欢迎常来材料版：）
1.XPS结合Ar离子刻蚀技术做剖面分析
2. TEM做超薄切片，做EDAX或EELS类分析
3. SEM也可以做局部EDAX分析
以上都有可能做mapping，不过XPS的mapping的精度可能不够
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2楼2008-09-10 23:51:39
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guandonghust

铜虫 (正式写手)
10nm，你怎么达到的？
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3楼2008-10-16 11:46:32
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cjpang

金虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by gggarnet at 2008-10-19 09:59:
.XPS安深度分析

同意。若重在测厚度，TEM最准；但重在测组成，XPS精度还是较高的，能达1-3%左右。另外，也要看组成元素，XPS检测原子量不是很大的元素出峰较易，若是重元素，我也不清楚了。
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6楼2009-01-05 06:11:49
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