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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 为什么没有在化学机械抛光中看到金属掺杂的硅溶胶做磨料的文章呢？
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开心就好耶

铜虫 (初入文坛)

[求助] 为什么没有在化学机械抛光中看到金属掺杂的硅溶胶做磨料的文章呢？

只看到过金属掺杂硅溶胶做膜（产物粒径小 ，多孔结构），没有看到应用在化学机械抛光中的文章（需要粒径大），是为什么呢？还是只是我没有找到？求帮，有懂的大神解释下
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1楼 2015-11-03 15:38:22
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开心就好耶

铜虫 (初入文坛)
菜鸟，问的问题可能傻了点，勿喷
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2楼2015-11-03 15:47:12
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11102101

铁虫 (正式写手)
金属得硬度大啊～以前不是有金属氧化铝～铝微球做摩料得么～～效果不好啊～

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好好生活陪孩子，好工作。
3楼2015-11-04 10:36:29
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