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为什么没有在化学机械抛光中看到金属掺杂的硅溶胶做磨料的文章呢？
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| 只看到过金属掺杂硅溶胶做膜（产物粒径小 ，多孔结构），没有看到应用在化学机械抛光中的文章（需要粒径大），是为什么呢？还是只是我没有找到？求帮，有懂的大神解释下 |
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