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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 粉末晶体 » 求助XRD多晶硅检测结果分析
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小奶牛

金虫 (正式写手)

[求助] 求助XRD多晶硅检测结果分析 已有1人参与

图示为测试多晶硅片XRD结果，图示中峰值表示的是不同晶向的比例吗？XRD能否适合测量多晶硅晶体的晶粒晶向比例？

求助XRD多晶硅检测结果分析
150701-Si-3.jpg


求助XRD多晶硅检测结果分析-1
130603-Si-1.jpg
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1楼 2015-11-02 09:25:12
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freehope

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
小奶牛: 金币+20, ★★★很有帮助 2015-11-02 11:58:59
第一个问题，是的。
xrd可以测量极图，但不是你这个图。具体内容请百度
另外ebsd也可以满足你的要求

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多知道点常识，少想什么终极奥义。
2楼2015-11-02 11:46:07
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小奶牛

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by freehope at 2015-11-02 11:46:07
第一个问题，是的。
xrd可以测量极图，但不是你这个图。具体内容请百度
另外ebsd也可以满足你的要求

那我可以理解为峰值代表的是（111）晶面在整体样品中晶面数的比例吗？与（220）、（311）、（400）、（331）晶面的比较吗？谢谢大牛！
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3楼2015-11-02 12:01:48
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freehope

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 小奶牛 at 2015-11-01 23:01:48
那我可以理解为峰值代表的是（111）晶面在整体样品中晶面数的比例吗？与（220）、（311）、（400）、（331）晶面的比较吗？谢谢大牛！...

只能定性知道那个晶面会多一些，但不能定量。intensity对你没什么意义。
除非你会精修。
当然最好还是ebsd。

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小奶牛
多知道点常识，少想什么终极奥义。
4楼2015-11-02 12:17:02
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小奶牛

金虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by freehope at 2015-11-02 12:17:02
只能定性知道那个晶面会多一些，但不能定量。intensity对你没什么意义。
除非你会精修。
当然最好还是ebsd。
...

ebsd是比较好而且准确，但是EBSD的检测时间长，费用高。如果XRD能够检测出一个硅片里面某个晶向的比例大小，那就完美了。
我查到的峰值高度与厚度什么的有关系，所以定性也不准确吧？另外精修是什么意思？怎样才能得到晶向比例？
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5楼2015-11-02 12:30:31
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freehope

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 小奶牛 at 2015-11-01 23:30:31
ebsd是比较好而且准确，但是EBSD的检测时间长，费用高。如果XRD能够检测出一个硅片里面某个晶向的比例大小，那就完美了。
我查到的峰值高度与厚度什么的有关系，所以定性也不准确吧？另外精修是什么意思？怎样才能 ...

xrd可以做极图分析，具体联系你的测试老师吧。这应该是比较适合你的方法。
其他的信息一句两句说不清。你可以自己查阅相关xrd书籍。
这个年代就是这样，花钱多就办事快，想少花钱就只能自己研究。

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多知道点常识，少想什么终极奥义。
6楼2015-11-02 12:40:00
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