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chankityi木虫 (正式写手)
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[求助]
求助5nm薄膜的截面观察 已有2人参与
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| 各位虫友大家好，本人最近在硅片表面生长了一层厚度大约5nm左右很薄的薄膜，想观察看是层状生长还是岛状生长。但是用SEM截面发现放大倍数200k，标尺200nm，还是看不清楚，表面更是什么也看不见。扫描已接近放大极限了。大家有什么好的建议吗？谢谢 |
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穿越千年
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3楼2015-10-30 11:10:30
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chankityi
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4楼2015-10-30 13:40:42
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