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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 求助5nm薄膜的截面观察
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chankityi

木虫 (正式写手)

[求助] 求助5nm薄膜的截面观察 已有2人参与

各位虫友大家好，本人最近在硅片表面生长了一层厚度大约5nm左右很薄的薄膜，想观察看是层状生长还是岛状生长。但是用SEM截面发现放大倍数200k，标尺200nm，还是看不清楚，表面更是什么也看不见。扫描已接近放大极限了。大家有什么好的建议吗？谢谢
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1楼 2015-10-30 10:17:01
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用FE-SEM试试看，在大的放大倍数下，这个效果要好的多
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2楼2015-10-30 10:52:51
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穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主
绝大多数的扫描电镜观察不到5nm，你的截面想制样观察TEM也很难，是个难题啊！
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热电材料，相变材料，阻变材料，APT，EBSD
3楼2015-10-30 11:10:30
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chankityi

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2015-10-30 10:52:51
用FE-SEM试试看，在大的放大倍数下，这个效果要好的多

我们测试的那台应该就是FESEM，型号S-4800，呵呵

发自小木虫IOS客户端
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4楼2015-10-30 13:40:42
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ev87

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不做High Resolution TEM 是不可能的，切片去磨吧。
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5楼2015-10-30 22:42:09
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