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chankityi

木虫 (正式写手)

[求助] 求助5nm薄膜的截面观察已有2人参与

各位虫友大家好,本人最近在硅片表面生长了一层厚度大约5nm左右很薄的薄膜,想观察看是层状生长还是岛状生长。但是用SEM截面发现放大倍数200k,标尺200nm,还是看不清楚,表面更是什么也看不见。扫描已接近放大极限了。大家有什么好的建议吗?谢谢
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zjlenny

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用FE-SEM试试看,在大的放大倍数下,这个效果要好的多
2楼2015-10-30 10:52:51
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穿越千年

版主 (著名写手)

寂寞读书的小和尚

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主

绝大多数的扫描电镜观察不到5nm,你的截面想制样观察TEM也很难,是个难题啊!
热电材料,相变材料,阻变材料,APT,EBSD
3楼2015-10-30 11:10:30
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chankityi

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by zjlenny at 2015-10-30 10:52:51
用FE-SEM试试看,在大的放大倍数下,这个效果要好的多

我们测试的那台应该就是FESEM,型号S-4800,呵呵

发自小木虫IOS客户端
4楼2015-10-30 13:40:42
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ev87

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不做High Resolution TEM 是不可能的,切片去磨吧。
5楼2015-10-30 22:42:09
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