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chankityi木虫 (正式写手)
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[求助]
求助5nm薄膜的截面观察 已有2人参与
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| 各位虫友大家好,本人最近在硅片表面生长了一层厚度大约5nm左右很薄的薄膜,想观察看是层状生长还是岛状生长。但是用SEM截面发现放大倍数200k,标尺200nm,还是看不清楚,表面更是什么也看不见。扫描已接近放大极限了。大家有什么好的建议吗?谢谢 |
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2楼2015-10-30 10:52:51
穿越千年
版主 (著名写手)
寂寞读书的小和尚
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3楼2015-10-30 11:10:30
chankityi
木虫 (正式写手)
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- 专业: 半导体材料
4楼2015-10-30 13:40:42
5楼2015-10-30 22:42:09













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