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pumpkin307

新虫 (初入文坛)

[求助] CVD设备检查气密性时，能否根据气体流量的激增来判断漏气（前提是管道中的气已排尽）

检查CVD设备的气密性。
首先关闭气体钢瓶的总阀，并使用旋转泵将气体抽尽（此时气体流量控制器 flow controller上显示的气体流量为0 sccm）。
静置12小时后，打开气体流量控制器 flow controller上的气体开关，发现气体流量示数从0 sccm激增至400 sccm，之后又逐渐下降至0 sccm。
请问能否凭借这个现象来判断漏气？

CVD设备检查气密性时，能否根据气体流量的激增来判断漏气（前提是管道中的气已排尽）
气体通路示意图.PNG
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1楼 2015-10-29 20:27:54
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