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CVD设备检查气密性时，能否根据气体流量的激增来判断漏气（前提是管道中的气已排尽）
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检查CVD设备的气密性。 首先关闭气体钢瓶的总阀，并使用旋转泵将气体抽尽（此时气体流量控制器 flow controller上显示的气体流量为0 sccm）。 静置12小时后，打开气体流量控制器 flow controller上的气体开关，发现气体流量示数从0 sccm激增至400 sccm，之后又逐渐下降至0 sccm。 请问能否凭借这个现象来判断漏气？  气体通路示意图.PNG |
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