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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 如何在聚酰亚胺上镀5微米厚的二氧化硅膜? 已有1人参与

磁控溅射特别慢,而且聚酰亚胺放里面镀膜10分钟就变形了。有什么更好地办法镀膜5微米厚的二氧化硅薄膜呢?求教~~
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ymba

金虫 (著名写手)

PECVD呢?是不是可以实现?
3楼2017-03-28 16:45:17
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ycyzrenlifei: 金币+10, ★★★很有帮助, 我是在聚酰亚胺上有微型金属图案,然后在上面镀5微米厚的二氧化硅,怎么解决啊~~~ 2015-10-30 14:44:59
5um厚的SiO!!!你能溅射那么厚???
如果你能的话,现在硅片上溅射好5um厚,然后再在上面涂一层PI,亚胺化,再把硅刻蚀和腐蚀掉。
2楼2015-10-27 18:56:21
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