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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何在聚酰亚胺上镀5微米厚的二氧化硅膜？
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 如何在聚酰亚胺上镀5微米厚的二氧化硅膜？ 已有1人参与

磁控溅射特别慢，而且聚酰亚胺放里面镀膜10分钟就变形了。有什么更好地办法镀膜5微米厚的二氧化硅薄膜呢？求教~~
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1楼 2015-10-25 21:17:55
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ycyzrenlifei: 金币+10, ★★★很有帮助, 我是在聚酰亚胺上有微型金属图案，然后在上面镀5微米厚的二氧化硅，怎么解决啊~~~ 2015-10-30 14:44:59
5um厚的SiO！！！你能溅射那么厚？？？
如果你能的话，现在硅片上溅射好5um厚，然后再在上面涂一层PI，亚胺化，再把硅刻蚀和腐蚀掉。
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2楼2015-10-27 18:56:21
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ymba

金虫 (著名写手)
PECVD呢？是不是可以实现？
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3楼2017-03-28 16:45:17
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