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独白

铜虫 (初入文坛)

[交流] 关于光刻胶显影问题 已有3人参与

最近在看光刻胶显影曝光后烘后的SEM图片,出现了图片中画黑圈中的情况,不知道是树脂残留还是什么?求指点

关于光刻胶显影问题
图片SEM.png
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stayhungrystayfoolish
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东环小苦逼

新虫 (初入文坛)

涂胶质量不好吧

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2015-12-04 06:51:31
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PXweng

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
描述很模糊,呵呵,是正胶还是负胶。正胶有斜面是正常的,曝光量够吗?

发自小木虫IOS客户端
有事电话说嘛13925288900
2楼2015-12-03 16:17:35
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蓝皮儿鼠

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
是没有完全刻蚀吧

发自小木虫IOS客户端
3楼2015-12-03 22:14:16
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