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真空涨落

木虫 (小有名气)

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专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] 求光刻胶AZ4533与AZ4562 的详细步骤

如题，关于 photoresist 的问题包括转速，厚度，前烘时间，曝光时间，显影等等。。。越详细越好。

在此拜谢了！

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物含妙理总堪寻

1楼 2015-03-13 16:48:33

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