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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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睡睡谁谁

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[求助] 磁控溅射用的分子泵报警

在抽真空时，分子泵能正常工作。 可是到了关闭分子泵时，控制分子泵的模块示数从400开始下降，下降到30左右时，机器就会报警！！！并显示OLI，谁知道这是什么情况啊？？？这段时间一直这样。。。。。。。。。。。
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。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。
1楼 2015-10-21 16:40:32
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睡睡谁谁

管理员

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
10脗楼: Originally posted by qfw_68 at 2015-10-22 13:38:12
脫脨驴脡脛脺隆拢...

虏禄潞脙脪芒脣录拢卢禄鹿脫脨脦脢脤芒拢卢脠莽鹿没虏禄录矛脨脼录脤脨酶脢鹿脫脙拢卢禄谩虏禄禄谩露脭脡猫卤赂脭矛鲁脡脡露脫掳脧矛拢驴隆拢拢驴
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13楼2015-10-26 12:09:42
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qfw_68

无虫

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
睡睡谁谁: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-10-22 14:01:59
应该翻看改分子泵的说明书。
参考：
检查输出线是否有短路现象；检查前级真空度是否过低。
第18/28页
https://www.docin.com/p-793944571.html
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没有困难创造困难也要上网。
4楼2015-10-22 10:15:18
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睡睡谁谁

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
4楼: Originally posted by qfw_68 at 2015-10-22 10:15:18
应该翻看改分子泵的说明书。
参考：
检查输出线是否有短路现象；检查前级真空度是否过低。
第18/28页
https://www.docin.com/p-793944571.html

怎么检查前级真空度是否过低？。？
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。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。
6楼2015-10-22 12:58:29
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qfw_68

无虫

有尾巴的青蛙
引用回帖:
6楼: Originally posted by 睡睡谁谁 at 2015-10-22 12:58:29
怎么检查前级真空度是否过低？。？...

通过真空计看反应室的真空度。前级真空度过低会造成反应室反抽分子泵。
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没有困难创造困难也要上网。
7楼2015-10-22 13:06:07
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