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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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睡睡谁谁

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[求助] 磁控溅射用的分子泵报警

在抽真空时，分子泵能正常工作。 可是到了关闭分子泵时，控制分子泵的模块示数从400开始下降，下降到30左右时，机器就会报警！！！并显示OLI，谁知道这是什么情况啊？？？这段时间一直这样。。。。。。。。。。。
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。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。
1楼 2015-10-21 16:40:32
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qfw_68

新虫

有尾巴的青蛙
引用回帖:
11脗楼: Originally posted by 脣炉脣炉脣颅脣颅 at 2015-10-22 13:59:46
路脟鲁拢赂脨脨禄拢隆脭脵脗茅路鲁脧脗拢卢 脢脟路麓脫娄脢脪脝酶脙脺脨脭虏禄潞脙拢驴禄鹿脢脟脫脨驴脡脛脺脮垄掳氓路搂脙禄鹿脴脩脧脙脺拢驴碌脠隆拢隆拢隆拢隆拢脟贸脪芒录没...

碌卤脠禄脢脟脮垄掳氓路搂脙禄鹿脴脩脧脙脺碌脛驴脡脛脺脨脭潞脺麓贸隆拢
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没有困难创造困难也要上网。
12楼2015-10-22 14:12:26
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qfw_68

禁虫

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
睡睡谁谁: 金币+10, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2015-10-22 14:01:59
应该翻看改分子泵的说明书。
参考：
检查输出线是否有短路现象；检查前级真空度是否过低。
第18/28页
https://www.docin.com/p-793944571.html
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没有困难创造困难也要上网。
4楼2015-10-22 10:15:18
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睡睡谁谁

管理员

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
4楼: Originally posted by qfw_68 at 2015-10-22 10:15:18
应该翻看改分子泵的说明书。
参考：
检查输出线是否有短路现象；检查前级真空度是否过低。
第18/28页
https://www.docin.com/p-793944571.html

怎么检查前级真空度是否过低？。？
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。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。。
6楼2015-10-22 12:58:29
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qfw_68

禁虫

有尾巴的青蛙
引用回帖:
6楼: Originally posted by 睡睡谁谁 at 2015-10-22 12:58:29
怎么检查前级真空度是否过低？。？...

通过真空计看反应室的真空度。前级真空度过低会造成反应室反抽分子泵。
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没有困难创造困难也要上网。
7楼2015-10-22 13:06:07
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