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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 一次镀铝膜和分多次镀膜的区别影响
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467111170

银虫 (初入文坛)

[求助] 一次镀铝膜和分多次镀膜的区别影响 已有1人参与

想镀1.5缪的铝膜，如果分三次每次镀0.5缪，这个会对铝膜有影响么？比如附着力，反射率，电参数等
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1楼 2015-10-21 10:21:14
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

请问您是用什么方法镀膜的，另外，分三次镀膜是怎么镀膜的，中间是否有拿到镀膜腔室外面？
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用绳命来搞科研
2楼2015-10-26 15:07:40
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467111170

银虫 (初入文坛)
没拿到腔室外，磁控溅射，功率气压什么的都一样，就是把一次镀膜的时间等分成三小段，中间间隔十分钟左右

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3楼2015-10-27 08:30:57
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
不一样的，溅射时候，溅射时间和成膜厚度不是完全等比例的，还有不同次成膜应该存在界面问题。个人猜想

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两肩如铁，胸襟似海。
4楼2015-10-27 10:13:32
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467111170

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-10-27 10:13:32
不一样的，溅射时候，溅射时间和成膜厚度不是完全等比例的，还有不同次成膜应该存在界面问题。个人猜想

恩，你说的溅射时间和成膜厚度不是线性比例这个理解，但是存在界面问题能否详细说明下？对这方面不怎么了解
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5楼2015-10-27 13:38:50
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 467111170 at 2015-10-27 13:38:50
恩，你说的溅射时间和成膜厚度不是线性比例这个理解，但是存在界面问题能否详细说明下？对这方面不怎么了解...

就像你在硅片上溅射铝一样，铝和硅存在界面，那不同层的铝是否也存在界面呢？这个是我的猜想

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两肩如铁，胸襟似海。
6楼2015-10-27 13:59:52
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467111170

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-10-27 13:59:52
就像你在硅片上溅射铝一样，铝和硅存在界面，那不同层的铝是否也存在界面呢？这个是我的猜想
...

恩，好的，谢谢你提供的思路，不过这个要怎么验证呢？
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7楼2015-10-27 15:25:04
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467111170

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-10-26 15:07:40
请问您是用什么方法镀膜的，另外，分三次镀膜是怎么镀膜的，中间是否有拿到镀膜腔室外面？

磁控溅射，中间不取出，没拿到镀膜腔室外，如何判断薄膜是否分层呢？
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8楼2015-11-04 13:50:12
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