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467111170

银虫 (初入文坛)

[求助] 一次镀铝膜和分多次镀膜的区别影响已有1人参与

想镀1.5缪的铝膜,如果分三次每次镀0.5缪,这个会对铝膜有影响么?比如附着力,反射率,电参数等
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

请问您是用什么方法镀膜的,另外,分三次镀膜是怎么镀膜的,中间是否有拿到镀膜腔室外面?
用绳命来搞科研
2楼2015-10-26 15:07:40
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467111170

银虫 (初入文坛)

没拿到腔室外,磁控溅射,功率气压什么的都一样,就是把一次镀膜的时间等分成三小段,中间间隔十分钟左右

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3楼2015-10-27 08:30:57
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yellow鑫

金虫 (正式写手)

不一样的,溅射时候,溅射时间和成膜厚度不是完全等比例的,还有不同次成膜应该存在界面问题。个人猜想

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两肩如铁,胸襟似海。
4楼2015-10-27 10:13:32
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467111170

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-10-27 10:13:32
不一样的,溅射时候,溅射时间和成膜厚度不是完全等比例的,还有不同次成膜应该存在界面问题。个人猜想

恩,你说的溅射时间和成膜厚度不是线性比例这个理解,但是存在界面问题能否详细说明下?对这方面不怎么了解
5楼2015-10-27 13:38:50
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yellow鑫

金虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 467111170 at 2015-10-27 13:38:50
恩,你说的溅射时间和成膜厚度不是线性比例这个理解,但是存在界面问题能否详细说明下?对这方面不怎么了解...

就像你在硅片上溅射铝一样,铝和硅存在界面,那不同层的铝是否也存在界面呢?这个是我的猜想

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两肩如铁,胸襟似海。
6楼2015-10-27 13:59:52
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467111170

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-10-27 13:59:52
就像你在硅片上溅射铝一样,铝和硅存在界面,那不同层的铝是否也存在界面呢?这个是我的猜想
...

恩,好的,谢谢你提供的思路,不过这个要怎么验证呢?
7楼2015-10-27 15:25:04
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467111170

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-10-26 15:07:40
请问您是用什么方法镀膜的,另外,分三次镀膜是怎么镀膜的,中间是否有拿到镀膜腔室外面?

磁控溅射,中间不取出,没拿到镀膜腔室外,如何判断薄膜是否分层呢?
8楼2015-11-04 13:50:12
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