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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 求助，关于薄膜的沉积速率
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zel2002

金虫 (正式写手)

[交流] 求助，关于薄膜的沉积速率

最近老板让做薄膜，不知道怎么计算或根据什么来得到薄膜的沉积速率啊？请各位虫虫指教 ！！！谢谢
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1楼 2008-09-06 14:04:41
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hangruiqiang

至尊木虫 (正式写手)
做薄膜的同时在炉子里放个硅片，然后在SEM下测量膜厚，再除以时间就是沉积速率
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4楼2008-09-08 14:07:06
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bluesky238

木虫 (正式写手)
要是有石英晶体振荡器测厚的仪器，那么你在做的过程中就能看到沉积速率，要是没有，那就做完后测量薄膜的厚度，然后除以时间来算算，大概的估计，前提就是你假设薄膜沉积速率是均匀的
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2楼2008-09-06 15:15:40
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enquan123

金虫 (著名写手)
RHEED 可以在线观测!!
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No matter what I do,I always forget to forget you...
5楼2008-09-08 16:00:47
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