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zel2002

金虫 (正式写手)

[交流] 求助,关于薄膜的沉积速率

最近老板让做薄膜,不知道怎么计算或根据什么来得到薄膜的沉积速率啊?请各位虫虫指教 !!!谢谢
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bluesky238

木虫 (正式写手)

要是有石英晶体振荡器测厚的仪器,那么你在做的过程中就能看到沉积速率,要是没有,那就做完后测量薄膜的厚度,然后除以时间来算算,大概的估计,前提就是你假设薄膜沉积速率是均匀的
2楼2008-09-06 15:15:40
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hongbo1985

银虫 (小有名气)

台阶仪可以
3楼2008-09-07 11:09:36
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hangruiqiang

至尊木虫 (正式写手)

做薄膜的同时在炉子里放个硅片,然后在SEM下测量膜厚,再除以时间就是沉积速率
4楼2008-09-08 14:07:06
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enquan123

金虫 (著名写手)

RHEED 可以在线观测!!
No matter what I do,I always forget to forget you...
5楼2008-09-08 16:00:47
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