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【求助】硅薄膜晶粒长大如何模拟?
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我想做点模拟不知道用什么软件?怎末着手? 对象: 是关于衬底\Al\Al2O3\非晶Si 体系,经过退火后变为:衬底\多晶Si\Al2O3\Al+Si 其中薄膜层厚度都为300nm左右。 求助:这个问题该用什么软件?如何着手?有没有那为朋友有基础的共享或指点一二不胜感激! [ Last edited by zzgyb on 2008-12-31 at 15:45 ] |
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