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【求助】硅薄膜晶粒长大如何模拟？
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我想做点模拟不知道用什么软件？怎末着手？ 对象： 是关于衬底\Al\Al2O3\非晶Si 体系，经过退火后变为：衬底\多晶Si\Al2O3\Al+Si 其中薄膜层厚度都为300nm左右。 求助：这个问题该用什么软件？如何着手？有没有那为朋友有基础的共享或指点一二不胜感激！ [ Last edited by zzgyb on 2008-12-31 at 15:45 ] |
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