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什么是反溅射啊?
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lanyupolo
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[交流]
什么是反溅射啊?
如题,我不太明白反溅射是怎么回事? 而且想知道磁控溅射用Ar气有没有Ar比其他气体的离化率高这个原因?(其他如不参与反应、经济这些原因先不说)
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