应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 【请教】光刻去胶问题请教
51/1返回列表
查看: 1012  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

zlj4165

银虫 (著名写手)

[交流] 【请教】光刻去胶问题请教

光刻显影后（5nm线宽，1微米厚的光刻胶（350nm）），在氧化层的硅片表面镀金30nm，镀完后，在丙酮泡30分钟都没有什么效果，去不了胶，照理说金的厚度并不至于把光刻胶包上啊，怎么就是去不了胶。
用超声试过，胶能去除，但是同时把需要的金薄膜也去除一部分了。
希望有经验的达人能指点一二，不胜感激

[ Last edited by caosw2001 on 2008-9-3 at 16:35 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2008-09-03 16:27:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zlj4165

银虫 (著名写手)
★
wdwsnnu(金币+1,VIP+0):谢谢提供
楼主做微米结构出了这种问题实在是不应该，哈哈！
你涂胶用到的涂胶台实在是简陋，怎么没有真空吸片功能呢？推荐买一款好的涂胶台。
胶涂厚了对你的工艺更加有害，建议涂1微米左右。
======
我涂的是1微米厚度左右的，以前从来没有接触过这些东西，也没有人指点。所以，还没入门呢。请你多多指点。我现在想做多层工艺，就你的意见，能否给我推荐光刻胶呢？汞灯350nm都可以。
赞一下(10人) 回复此楼
9楼2008-09-08 08:18:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答

wqnow

木虫 (正式写手)
★
jackchen145(金币+1,VIP+0):3x，欢迎常来纳米版！
”5nm线宽“，这个牛。
金在光刻胶上面？？要是在下面不应该啊，光刻之后洗金然后除胶是吗？是不是光刻之后还有什么其他步骤把胶给搞固化了？
赞一下(10人) 回复此楼
2楼2008-09-03 22:08:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zlj4165

银虫 (著名写手)
没有固化，光刻后，显影，之后镀金，

接下来就想把光刻胶（上面有一层金）去除，但是不用超声的话去不掉。楼上的朋友是不是也做这一块的，能否加我QQ55645593，指点我一下？
赞一下 回复此楼
3楼2008-09-04 08:36:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)
★
jackchen145(金币+1,VIP+0):3x，欢迎常来纳米版！
楼主遇到的问题是lift-off困难的问题。
首先lift-off要有under-cut结构才能很好地进行，如果出现over-cut就会影响lift-off效果。当然如果镀膜方法选择得当，比如电子束蒸镀，也能让lift-off进行顺利些。
解决问题的主要办法就是获得under-cut结构，比如用双层胶工艺或用lift-off resist等。
另外，我知道有很多胶都有除胶剂，比如All resist公司的光刻胶就配有相应的除胶剂。
如果有兴趣楼主可以联系我。
最后，祝楼主工作顺利！
赞一下(10人) 回复此楼
4楼2008-09-05 18:02:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 考博 +4 Eternitf 2026-04-29 4/200 2026-05-02 16:10 by yejenny
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qs8kylt1wr 2026-05-01 3/150 2026-05-02 16:06 by zahslv263y
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qs8kylt1wr 2026-05-01 3/150 2026-05-02 15:51 by zahslv263y
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qs8kylt1wr 2026-05-01 3/150 2026-05-02 15:51 by zahslv263y
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qs8kylt1wr 2026-05-01 3/150 2026-05-02 15:36 by zahslv263y
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qs8kylt1wr 2026-05-01 3/150 2026-05-02 15:21 by zahslv263y
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qs8kylt1wr 2026-05-01 3/150 2026-05-02 15:06 by zahslv263y
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 d8tbypao1q 2026-05-01 3/150 2026-05-02 14:21 by zahslv263y
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 d8tbypao1q 2026-05-01 3/150 2026-05-02 14:06 by zahslv263y
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 k17zww5nna 2026-05-01 3/150 2026-05-02 10:21 by ovidyohpyz
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 k17zww5nna 2026-05-01 4/200 2026-05-02 10:21 by ovidyohpyz
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 k17zww5nna 2026-05-01 4/200 2026-05-02 10:06 by ovidyohpyz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 k17zww5nna 2026-05-01 3/150 2026-05-02 09:36 by dz7y1p1i98
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 k17zww5nna 2026-05-01 5/250 2026-05-02 09:21 by dz7y1p1i98
[考博] 药化及相关博士的申请 5+3 中药学渣 2026-04-29 3/150 2026-05-01 18:14 by babero
[论文投稿] 一篇MDPI论文改变了学习工作和生活 +3 helsinglee 2026-04-29 4/200 2026-05-01 11:45 by bobvan
[有机交流] 一个化合物的合成路线：CAS:367929-02-0 名称：8β-乙烯基雌二醇 50+4 zhquanbing 2026-04-28 4/200 2026-04-30 22:45 by zyqchem
[文学芳草园] 太白金星有点烦 +3 yexuqing 2026-04-27 3/150 2026-04-30 21:56 by myrtle
[基金申请] 收到国自然专家邀请后几年才会有本子送过来评 +3 barley5 2026-04-30 3/150 2026-04-30 14:58 by aspect3000
[论文投稿] 有没有快的中文核心比较快录用的，纳米材料光催化 5+3 2914439618 2026-04-27 4/200 2026-04-29 08:59 by 北京莱茵润色
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭