24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 973  |  回复: 13
当前主题已经存档。

zlj4165

银虫 (著名写手)

[交流] 【请教】光刻去胶问题请教

光刻显影后(5nm线宽,1微米厚的光刻胶(350nm)),在氧化层的硅片表面镀金30nm,镀完后,在丙酮泡30分钟都没有什么效果,去不了胶,照理说金的厚度并不至于把光刻胶包上啊,怎么就是去不了胶。
用超声试过,胶能去除,但是同时把需要的金薄膜也去除一部分了。
希望有经验的达人能指点一二,不胜感激

[ Last edited by caosw2001 on 2008-9-3 at 16:35 ]
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wqnow

木虫 (正式写手)


jackchen145(金币+1,VIP+0):3x,欢迎常来纳米版!
”5nm线宽“,这个牛。
金在光刻胶上面??要是在下面不应该啊,光刻之后洗金然后除胶是吗?是不是光刻之后还有什么其他步骤把胶给搞固化了?
2楼2008-09-03 22:08:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zlj4165

银虫 (著名写手)

没有固化,光刻后,显影,之后镀金,

接下来就想把光刻胶(上面有一层金)去除,但是不用超声的话去不掉。楼上的朋友是不是也做这一块的,能否加我QQ55645593,指点我一下?
3楼2008-09-04 08:36:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)


jackchen145(金币+1,VIP+0):3x,欢迎常来纳米版!
楼主遇到的问题是lift-off困难的问题。
首先lift-off要有under-cut结构才能很好地进行,如果出现over-cut就会影响lift-off效果。当然如果镀膜方法选择得当,比如电子束蒸镀,也能让lift-off进行顺利些。
解决问题的主要办法就是获得under-cut结构,比如用双层胶工艺或用lift-off resist等。
另外,我知道有很多胶都有除胶剂,比如All resist公司的光刻胶就配有相应的除胶剂。
如果有兴趣楼主可以联系我。
最后,祝楼主工作顺利!
4楼2008-09-05 18:02:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wqnow

木虫 (正式写手)

楼上的内行啊,我们那金都在光刻胶下面,没有这个问题
我不做这个
5楼2008-09-06 02:29:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zlj4165

银虫 (著名写手)

谢谢楼上的帮忙。我是新手,对光刻了解不多。 quanbaogang ,能否推荐比较专业的书籍?我假如不用双层胶工艺,直接把一层光刻胶涂厚一点,再光刻的时间长一点,能否获得Under cut结构?还有,spin-coating时,你们用什么胶粘住硅片?我用双面胶总是很难取下来,并且双面胶总有些留在硅片上。麻烦推荐一种比较容易取下的胶。
6楼2008-09-06 10:07:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zlj4165

银虫 (著名写手)

5微米,打错了,哈
7楼2008-09-06 10:30:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)


大笨猪和聪明羊(金币+1,VIP+0):谢谢应助^_^
楼主做微米结构出了这种问题实在是不应该,哈哈!
你涂胶用到的涂胶台实在是简陋,怎么没有真空吸片功能呢?推荐买一款好的涂胶台。
胶涂厚了对你的工艺更加有害,建议涂1微米左右。
8楼2008-09-06 17:03:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zlj4165

银虫 (著名写手)


wdwsnnu(金币+1,VIP+0):谢谢提供
楼主做微米结构出了这种问题实在是不应该,哈哈!
你涂胶用到的涂胶台实在是简陋,怎么没有真空吸片功能呢?推荐买一款好的涂胶台。
胶涂厚了对你的工艺更加有害,建议涂1微米左右。
======
我涂的是1微米厚度左右的,以前从来没有接触过这些东西,也没有人指点。所以,还没入门呢。请你多多指点。我现在想做多层工艺,就你的意见,能否给我推荐光刻胶呢?汞灯350nm都可以。
9楼2008-09-08 08:18:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanbaogang

木虫 (正式写手)

给你推荐你能买吗?你一个单位用一次就是1公升用多久才能用完啊?!
10楼2008-09-19 16:07:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zlj4165 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 270化工求调剂 +6 海苔花生饼 2026-03-28 6/300 2026-04-04 09:05 by zhangdingwa
[考研] 081700化学工程与技术 一志愿中海洋 323 求调剂学校 +11 披星河 2026-04-03 11/550 2026-04-04 08:30 by leqianduo
[考研] 322求调剂 +6 FZAC123 2026-04-03 6/300 2026-04-03 22:23 by 科研小专家
[考研] 295求调剂 +3 尚偌呀 2026-04-03 4/200 2026-04-03 21:23 by zhq0425
[考研] 考研调剂 +3 Draa 2026-04-03 3/150 2026-04-03 17:37 by hgwz7468
[考研] 320求调剂 +5 振—TZ 2026-04-02 5/250 2026-04-03 14:42 by fxue1114
[考研] 324求调剂 +4 想上学求调 2026-04-03 4/200 2026-04-03 14:41 by rongligao
[考研] 313求调剂 +3 ~微微凉~ 2026-04-03 3/150 2026-04-03 11:25 by 啵啵啵0119
[考研] 325分化学调剂 +5 15771691647 2026-04-02 5/250 2026-04-03 09:58 by ChemPharm
[考研] 0703化学 +7 goldtt 2026-04-02 9/450 2026-04-03 09:36 by 蓝云思雨
[考研] 322求调剂:一志愿湖南大学 材料与化工(085600),已过六级。 +12 XX小邓 2026-03-29 13/650 2026-04-02 21:39 by 百灵童888
[论文投稿] chinese chemical letters英文版投稿求助 120+4 Yishengeryi 2026-03-30 6/300 2026-04-02 17:19 by Yishengeryi
[考研] 一志愿上海海洋大学083200食品学硕,求调剂,接受其他专业 +6 what张 2026-04-01 7/350 2026-04-02 16:48 by zzsw+
[考研] 291求调剂 +20 Y-cap 2026-03-29 25/1250 2026-04-01 23:49 by 欣喜777
[考研] 材料调剂 +11 一样YWY 2026-03-31 11/550 2026-04-01 22:25 by zhouyuwinner
[考研] 310分求调剂 +4 成功上岸wang 2026-04-01 4/200 2026-04-01 20:35 by liu823948201
[考研] 求调剂 +4 图鉴212 2026-03-30 5/250 2026-04-01 15:32 by 图鉴212
[考研] 考研生物与医药调剂 +7 铁憨憨123425 2026-03-31 7/350 2026-04-01 08:45 by JourneyLucky
[考研] 合肥区域性重点一本招收调剂 +4 6266jl 2026-03-30 8/400 2026-03-31 18:43 by 6266jl
[考研] 318求调剂 +10 陈晨79 2026-03-30 10/500 2026-03-31 17:37 by 544594351
信息提示
请填处理意见