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聚焦离子束加工与扫描电子显微镜成像服务
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扫描电镜/聚焦离子束微纳加工机 仪器介绍 FIB/SEM“双束”显微镜是FEI公司将聚焦离子束(FIB)技术和扫描电子显微镜(SEM)有机地结合在一起而设计的新产品。通过离子束进行微束加工；利用成像系统进行电镜观察；通过气体注入系统进行Pt沉积和金属、非金属刻蚀；成为集形貌观测、定位制样、成分分析、薄膜沉积和刻蚀各个过程于一身的新型纳米加工与分析技术。 技术参数 1.SEM分辨率：1.1nm@15kV，最大放大倍数为600k× 2.FIB加工范围和精度：最小刻蚀线宽:15nm, 最小铂Pt沉积线宽:20nm, 最大深宽比:10/1, 单次加工范围:<100um (可大面积拼接)； 工作台行程：X, Y=50mm, Z=25mm, T= -15°~60°, R=n×360；样品厚度:<55mm； 3.FIB分辨率：7nm (可达到5nm)，最大放大倍数为300k× 4.气体注入系统（GIS）：Pt沉积气体、绝缘气体辅助刻蚀（IEE） 5.纳米操作仪可以在X、Y、Z三个方向上以任意角度操纵样品，其操作范围是Z:12mm；X、Y：240mm；精度可达Z：0.5nm，X、Y：5nm；样品旋转器可带动样品在轴向360度旋转，精度达到10-7rad/步进 主要应用领域 高精度复杂的微纳米结构和器件的加工； 微电子集成电路的缺陷检测分析和修整； TEM样品的制备和提取； 微纳米生物芯片和光学器件加工研究； 微/纳米器件的制备和操纵。 收费标准 FIB成像溅射加工： 2500元/时 SEM成像：200元/小时 Pt沉积加工/IEE辅助刻蚀加工：50元/分钟 金相试样制备：100元/件 利用纳米操作仪制备TEM样品：价格面议 利用纳米操作仪进行微纳米器件制备：价格面议 联系方式 联系人：徐宗伟 Tel：022-59813871 Fax：022-59813864 E-mail：zongweixu@163.com 实验室地点： 天津微纳制造技术有限公司纳米加工实验室 （天津经济技术开发区第四大街80号天大科技园 A2座1层） |
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