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kevin123581金虫 (正式写手)
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PLD制备ZnO/ITO薄膜的问题 已有1人参与
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刚接触这个课题，想请教下关于PLD制备这类薄膜的条件问题。 ZnO：我自己试过几次，条件都是10-5Torr真空度+室温温度的基底，结果薄膜不是白色透明的，而是黑色；等离子体羽辉带蓝紫色，不是特别明显； 网上看过一些文献，貌似都说需要在高O2浓度的气体环境中而不是真空。其次基底温度也有要求，400-800摄氏度什么的。 ITO：一样的10-5Torr真空度+室温温度的基底，薄膜也是黑色的，不过看上去貌似是高反射的。而且等离子体羽辉肉眼基本看不出来，难道是黑色的？ 所以在此想请教下，对于ZnO或者ITO，一般的PLD 制备条件如何？ 有什么特殊要求么？ 谢谢 |
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