应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » PLD制备ZnO/ITO薄膜的问题
111/2返回列表12下一页
查看: 1326  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

kevin123581

金虫 (正式写手)

[求助] PLD制备ZnO/ITO薄膜的问题 已有1人参与

刚接触这个课题，想请教下关于PLD制备这类薄膜的条件问题。

ZnO：我自己试过几次，条件都是10-5Torr真空度+室温温度的基底，结果薄膜不是白色透明的，而是黑色；等离子体羽辉带蓝紫色，不是特别明显；
网上看过一些文献，貌似都说需要在高O2浓度的气体环境中而不是真空。其次基底温度也有要求，400-800摄氏度什么的。


ITO：一样的10-5Torr真空度+室温温度的基底，薄膜也是黑色的，不过看上去貌似是高反射的。而且等离子体羽辉肉眼基本看不出来，难道是黑色的？


所以在此想请教下，对于ZnO或者ITO，一般的PLD 制备条件如何？  有什么特殊要求么？


谢谢
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-10-01 14:29:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

L-lutt

木虫 (小有名气)
没通氧气时，用ZnO靶PLD长出来过镜面，后来通了氧气就没有过了。还有是不是腔体太脏，你烘烤一下腔体试试。ITO膜没长过

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2015-10-01 18:12:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
ZnO制备过，通氧气主要是改变薄膜的化学配比，还有就是薄膜表面不要出现大的颗粒。为了结晶好一些一般都要加热制备，另外，表面颜色可能与衬底有关，我们当时用的Si感觉表面是彩色的。ITO没做过。
赞一下 回复此楼
好好学习,天天向上!
3楼2015-10-01 18:48:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2015-10-01 21:54:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by L-lutt at 2015-10-01 18:12:39
没通氧气时，用ZnO靶PLD长出来过镜面，后来通了氧气就没有过了。还有是不是腔体太脏，你烘烤一下腔体试试。ITO膜没长过

我怀疑高真空度的时候是Zn单质析出了，所以成黑色。昨天试了下第真空度，就没这么黑了。
你说的镜面是什么意思？ 高反射么？颜色如何？


恩，好的，我清洁下腔体再试试。
还有个问下，你们基底加热了的么？
赞一下 回复此楼
5楼2015-10-02 12:22:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-01 18:48:42
ZnO制备过，通氧气主要是改变薄膜的化学配比，还有就是薄膜表面不要出现大的颗粒。为了结晶好一些一般都要加热制备，另外，表面颜色可能与衬底有关，我们当时用的Si感觉表面是彩色的。ITO没做过。

恩，谢谢。我用的fs基底，透明的。最开做出来的膜就是黑黑的，透射也不太好。那是在高真空度做的，我怀疑是析出了单质Zn的原因。
昨天试了下低真空度，但是没有单独通氧气，薄膜就不是黑色的了，而且透明的。substrate holder上面残留的看颜色带一点淡蓝色。衬底没有加热。

你们一般衬底加热是多少度呢，请问下？
赞一下 回复此楼
6楼2015-10-02 12:27:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
kevin123581: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2015-10-02 16:26:41
400度是比较合适的
赞一下 回复此楼
好好学习,天天向上!
7楼2015-10-02 13:37:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-02 13:37:51
400度是比较合适的

谢谢
回复此楼
8楼2015-10-02 16:26:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

心中日月383

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-01 18:48:42
ZnO制备过，通氧气主要是改变薄膜的化学配比，还有就是薄膜表面不要出现大的颗粒。为了结晶好一些一般都要加热制备，另外，表面颜色可能与衬底有关，我们当时用的Si感觉表面是彩色的。ITO没做过。

为什么羽辉那么小呢，你们激光入射的镜头有没有黑掉呢

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
9楼2016-03-20 20:17:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

心中日月383

金虫 (正式写手)
你的ZnO羽辉大吗，我的怎么就一点

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
10楼2016-03-20 20:19:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 kevin123581 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 311求调剂 +8 冬十三 2026-03-15 9/450 2026-03-17 22:37 by 冬十三
[考研] 302求调剂 +4 呼呼呼。。。。 2026-03-17 4/200 2026-03-17 22:20 by 77Qi
[考研] 能源材料化学课题组招收硕士研究生8-10名 +3 脱颖而出 2026-03-16 6/300 2026-03-17 21:19 by z1z2z3879
[考研] 341求调剂 +5 捣蛋猪猪 2026-03-11 7/350 2026-03-17 19:09 by 捣蛋猪猪
[考研] 328求调剂，英语六级551，有科研经历 +3 生物工程调剂 2026-03-16 8/400 2026-03-17 19:03 by Wangjingyue
[考研] 301求调剂 +4 A_JiXing 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:32 by ruiyingmiao
[考研] 0854可跨调剂，一作一项核心论文五项专利，省、国级证书40+数一英一287 +3 小李0854 2026-03-16 3/150 2026-03-17 13:40 by 热情沙漠
[考研] 267一志愿南京工业大学0817化工求调剂 +6 SUICHILD 2026-03-12 6/300 2026-03-17 09:24 by 雾散后相遇lc
[考研] 278求调剂 +3 Yy7400 2026-03-13 3/150 2026-03-17 08:24 by laoshidan
[考研] 东南大学364求调剂 +5 JasonYuiui 2026-03-15 5/250 2026-03-16 21:28 by 木瓜膏
[考研] 304求调剂 +3 曼殊2266 2026-03-14 3/150 2026-03-16 16:39 by houyaoxu
[考研] 0856求调剂 +3 刘梦微 2026-03-15 3/150 2026-03-16 10:00 by houyaoxu
[考博] 东华理工大学化材专业26届硕士博士申请 +6 zlingli 2026-03-13 6/300 2026-03-15 20:00 by ryzcf
[考研] 070305求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-14 4/200 2026-03-15 11:04 by peike
[考研] 288求调剂 +4 奇点0314 2026-03-14 4/200 2026-03-14 23:04 by JourneyLucky
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
[考研] 材料080500调剂求收留 +3 一颗meteor 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:54 by peike
[考研] 279求调剂 +3 抓着星星的女孩 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:47 by userper
[考研] 材料工程调剂 +4 咪咪空空 2026-03-11 4/200 2026-03-13 19:57 by JourneyLucky
[考研] 考研调剂 +4 芬达46 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:04 by ruiyingmiao
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭