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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » PLD制备ZnO/ITO薄膜的问题
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kevin123581

金虫 (正式写手)

[求助] PLD制备ZnO/ITO薄膜的问题 已有1人参与

刚接触这个课题，想请教下关于PLD制备这类薄膜的条件问题。

ZnO：我自己试过几次，条件都是10-5Torr真空度+室温温度的基底，结果薄膜不是白色透明的，而是黑色；等离子体羽辉带蓝紫色，不是特别明显；
网上看过一些文献，貌似都说需要在高O2浓度的气体环境中而不是真空。其次基底温度也有要求，400-800摄氏度什么的。


ITO：一样的10-5Torr真空度+室温温度的基底，薄膜也是黑色的，不过看上去貌似是高反射的。而且等离子体羽辉肉眼基本看不出来，难道是黑色的？


所以在此想请教下，对于ZnO或者ITO，一般的PLD 制备条件如何？  有什么特殊要求么？


谢谢
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1楼 2015-10-01 14:29:40
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L-lutt

木虫 (小有名气)
没通氧气时，用ZnO靶PLD长出来过镜面，后来通了氧气就没有过了。还有是不是腔体太脏，你烘烤一下腔体试试。ITO膜没长过

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2楼2015-10-01 18:12:39
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zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
ZnO制备过，通氧气主要是改变薄膜的化学配比，还有就是薄膜表面不要出现大的颗粒。为了结晶好一些一般都要加热制备，另外，表面颜色可能与衬底有关，我们当时用的Si感觉表面是彩色的。ITO没做过。
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好好学习,天天向上!
3楼2015-10-01 18:48:42
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2015-10-01 21:54:33
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by L-lutt at 2015-10-01 18:12:39
没通氧气时，用ZnO靶PLD长出来过镜面，后来通了氧气就没有过了。还有是不是腔体太脏，你烘烤一下腔体试试。ITO膜没长过

我怀疑高真空度的时候是Zn单质析出了，所以成黑色。昨天试了下第真空度，就没这么黑了。
你说的镜面是什么意思？ 高反射么？颜色如何？


恩，好的，我清洁下腔体再试试。
还有个问下，你们基底加热了的么？
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5楼2015-10-02 12:22:14
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-01 18:48:42
ZnO制备过，通氧气主要是改变薄膜的化学配比，还有就是薄膜表面不要出现大的颗粒。为了结晶好一些一般都要加热制备，另外，表面颜色可能与衬底有关，我们当时用的Si感觉表面是彩色的。ITO没做过。

恩，谢谢。我用的fs基底，透明的。最开做出来的膜就是黑黑的，透射也不太好。那是在高真空度做的，我怀疑是析出了单质Zn的原因。
昨天试了下低真空度，但是没有单独通氧气，薄膜就不是黑色的了，而且透明的。substrate holder上面残留的看颜色带一点淡蓝色。衬底没有加热。

你们一般衬底加热是多少度呢，请问下？
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6楼2015-10-02 12:27:55
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zhangzhiguang

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
kevin123581: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2015-10-02 16:26:41
400度是比较合适的
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好好学习,天天向上!
7楼2015-10-02 13:37:51
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-02 13:37:51
400度是比较合适的

谢谢
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8楼2015-10-02 16:26:26
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心中日月383

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhangzhiguang at 2015-10-01 18:48:42
ZnO制备过，通氧气主要是改变薄膜的化学配比，还有就是薄膜表面不要出现大的颗粒。为了结晶好一些一般都要加热制备，另外，表面颜色可能与衬底有关，我们当时用的Si感觉表面是彩色的。ITO没做过。

为什么羽辉那么小呢，你们激光入射的镜头有没有黑掉呢

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9楼2016-03-20 20:17:38
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心中日月383

金虫 (正式写手)
你的ZnO羽辉大吗，我的怎么就一点

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10楼2016-03-20 20:19:23
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