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svot3

铁虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 49.5
帖子: 2
在线: 3.8小时
虫号: 3753837
注册: 2015-03-20
专业: 微/纳机械系统

[求助] ansys仿真结构与理论计算差的太多

我要灵敏度，在画好的结构上施加x轴向1g的加速度，得到位移
理论公式：sd=p*(wm*lm+nf*wf*lf)*lb^3/(2*E*wb^3)

P：密度=2.33*10^3kg/(m^3) Wm:质量块宽度=100um  Lm：质量块长度=360um Nf：梳齿个数=32 Wf：梳齿宽度=4um Lf：梳齿长度=140um Lb：梁长=250um  E:杨氏模量=1.7*10^11pa  Wb：梁宽=2um（见下图标注）

程序
/prep7
/title, MEMS comb capacitive accelerometer
/com uMKS
/com, property of the silicon
et,1,187
mp,ex,1,1.69e5
mp,prxy,1,0.22
mp,dens,1,2330e-18
rectng,0,180,0,50
rectng,178,180,50,250
rectng,178,190,250,260             ！两根细梁之间的连接点
rectng,188,190,0,250
rectng,190,200,0,5                ！左右两边的固定点
rectng,8,12,50,190
agen,8,6,,,20,,,,,
arsym,x,all
arsym,y,all
aadd,all
numcmp,area
vext,1,,,,,-80
vmesh,all                   ！这个网格比较粗，我用GUI方式选的智能网格划分调到2
asel,s,loc,y,5    ！整个结构左右两边的锚点是固定住的，使其只能在xy平面的x轴向运动
asel,a,loc,y,-5
asel,a,loc,x,200
asel,a,loc,x,-200
da,all,ux,0
da,all,uy,0
da,all,uz,0
alls
asel,s,loc,z,-80
da,all,uz,0
alls
acel,9.8e6,,,
finish
/solu
solve
finish
/post1
plnsol,u,x
理论值为0.0071，仿真值为0.0052
求大神指导问题所在。

模型.png

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