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ansys仿真结构与理论计算差的太多
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我要灵敏度，在画好的结构上施加x轴向1g的加速度，得到位移 理论公式：sd=p*(wm*lm+nf*wf*lf)*lb^3/(2*E*wb^3) P：密度=2.33*10^3kg/(m^3) Wm:质量块宽度=100um Lm：质量块长度=360um Nf：梳齿个数=32 Wf：梳齿宽度=4um Lf：梳齿长度=140um Lb：梁长=250um E:杨氏模量=1.7*10^11pa Wb：梁宽=2um（见下图标注） 程序 /prep7 /title, MEMS comb capacitive accelerometer /com uMKS /com, property of the silicon et,1,187 mp,ex,1,1.69e5 mp,prxy,1,0.22 mp,dens,1,2330e-18 rectng,0,180,0,50 rectng,178,180,50,250 rectng,178,190,250,260 ！两根细梁之间的连接点 rectng,188,190,0,250 rectng,190,200,0,5 ！左右两边的固定点 rectng,8,12,50,190 agen,8,6,,,20,,,,, arsym,x,all arsym,y,all aadd,all numcmp,area vext,1,,,,,-80 vmesh,all ！这个网格比较粗，我用GUI方式选的智能网格划分调到2 asel,s,loc,y,5 ！整个结构左右两边的锚点是固定住的，使其只能在xy平面的x轴向运动 asel,a,loc,y,-5 asel,a,loc,x,200 asel,a,loc,x,-200 da,all,ux,0 da,all,uy,0 da,all,uz,0 alls asel,s,loc,z,-80 da,all,uz,0 alls acel,9.8e6,,, finish /solu solve finish /post1 plnsol,u,x 理论值为0.0071，仿真值为0.0052 求大神指导问题所在。  模型.png |
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