应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 【求助】在单晶硅上磁控溅射TiNi薄膜为什么要在Si表面形成SiO2？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
41/1返回列表
查看: 376  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 Abskk 的 1 个金币

Abskk

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】在单晶硅上磁控溅射TiNi薄膜为什么要在Si表面形成SiO2？

在单晶硅上磁控溅射TiNi记忆合金薄膜为什么要在Si表面形成SiO2？
那为大虾能告诉我原因?

最好能说具体一些,谢谢!

[ Last edited by SHY31 on 2008-8-31 at 14:05 ]
回复此楼

» 猜你喜欢
广泛联系的世界~
1楼 2008-08-31 13:33:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cxm377

银虫 (正式写手)
★ ★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流
Abskk(金币+1,VIP+0):总体思想应该是这样的,但如果更具体一些更好，比如说点热膨胀系数,晶格失配什么的!
是由于直接生长TiNi应力很大，势必脱落和影响性能的，所以必须在Si表面先形成SiO2来做下缓冲。这种情况在IC工艺里很常见的，除了TiNi thinfilm，还有想SiN也是这样做的。
祝你好运

[ Last edited by cxm377 on 2008-9-1 at 07:57 ]
赞一下(10人) 回复此楼
洗洗睡吧
2楼2008-09-01 07:52:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bielifang

先镀一层SiO2作为过渡层，让TiN薄膜与基体结合得更好。
赞一下 回复此楼
3楼2008-09-01 09:19:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tingyee

金虫 (小有名气)
这应该是晶格失陪太大，直接生长的话是能实现的，但是衬底温度降回室温后，由于应力太大，有可能生长的薄膜会剥皮或炸裂
赞一下 回复此楼
4楼2008-09-01 14:39:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 Abskk 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085600，专业课化工原理，321分求调剂 +6 大馋小子 2026-03-28 6/300 2026-04-03 22:38 by JimmyQAQ
[考研] 化工求调剂 +11 荔香芝士椰奶 2026-04-03 11/550 2026-04-03 22:06 by 啵啵啵0119
[考研] 一志愿重庆大学085404，总分314分，求调剂 +4 zf83hn 2026-04-03 4/200 2026-04-03 21:25 by 啵啵啵0119
[考研] 070300一志愿211，312分求调剂院校 +16 小黄鸭宝 2026-03-30 16/800 2026-04-03 19:53 by lijunpoly
[考研] 一志愿华北电力大学（北京），材料科学与工程学硕265，求调剂 +9 yelck 2026-04-03 10/500 2026-04-03 13:20 by yelck
[考研] 296求调剂 +4 sdhu 2026-04-02 4/200 2026-04-02 21:29 by baoball
[考研] 调剂 +3 好好读书。 2026-04-01 6/300 2026-04-02 15:49 by liumengping
[考研] 一志愿北京科技大学材料学硕328分求调剂 +6 1段时间 2026-03-31 7/350 2026-04-02 13:57 by 3041
[考研] 307分求调剂 +14 (o~o) 2026-03-31 15/750 2026-04-01 20:43 by longlotian
[考研] 085410人工智能 初试316分 求调剂 +3 残星拂曙 2026-03-31 3/150 2026-04-01 11:09 by 小熊raider
[考研] 322求调剂 +8 三水sss 2026-04-01 8/400 2026-04-01 10:19 by 唐沐儿
[考研] 326求调剂 +4 崽崽仔 2026-03-31 4/200 2026-04-01 09:58 by 我的船我的海
[考研] 333求调剂 +4 阿科逸 2026-03-31 4/200 2026-04-01 09:11 by jp9609
[考研] 一志愿南昌大学324求调剂 +6 hanamiko 2026-03-29 6/300 2026-03-31 16:35 by hypershenger
[考研] 一志愿中海洋材料357 +4 麦恩莉. 2026-03-30 4/200 2026-03-31 14:35 by 记事本2026
[考研] 本科211安全工程，初试290分，求调剂 +3 2719846834 2026-03-28 3/150 2026-03-31 13:52 by 热情沙漠
[考研] 一志愿食品科学与工程083200求调剂 +4 XQTJZ 2026-03-30 4/200 2026-03-31 04:10 by fmesaito
[考研] 福建理工大学材料学院先进合金团队招收考研调剂学生 +3 大华金商都 2026-03-30 4/200 2026-03-31 01:04 by 方英俊602
[考研] 083000环境科学与工程调剂，总分281 +4 橙子（胜意） 2026-03-30 4/200 2026-03-31 00:44 by Linzejun
[考研] 数一英一271专硕（085401）求调剂，可跨 +7 前行必有光 2026-03-28 8/400 2026-03-28 23:22 by 小木虫tim
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭