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lzg919530615

金虫 (正式写手)

[求助] KrF激光器气体的排放问题？

最近实验室要买一台PLD设备，带有KrF气体激光器，查了资料发现KrF是有毒气体，请问下应该怎么处理呢？KrF激光器工作过程中会产生并需要排放KrF/F2气体吗，KrF气体会在使用过程中有损耗吗？谢谢！
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1楼 2015-09-17 16:40:37
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
原始气体应该是好几种气体。大概4种，记得有F2好像。有尾气管道排放。

发自小木虫Android客户端
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善良
2楼2016-04-18 21:48:26
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