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lzg919530615金虫 (正式写手)
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[求助]
KrF激光器气体的排放问题?
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| 最近实验室要买一台PLD设备,带有KrF气体激光器,查了资料发现KrF是有毒气体,请问下应该怎么处理呢?KrF激光器工作过程中会产生并需要排放KrF/F2气体吗,KrF气体会在使用过程中有损耗吗?谢谢! |
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wiseroy
木虫 (著名写手)
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