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lzg919530615金虫 (正式写手)
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[求助]
KrF激光器气体的排放问题？
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| 最近实验室要买一台PLD设备，带有KrF气体激光器，查了资料发现KrF是有毒气体，请问下应该怎么处理呢？KrF激光器工作过程中会产生并需要排放KrF/F2气体吗，KrF气体会在使用过程中有损耗吗？谢谢！ |
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wiseroy
木虫 (著名写手)
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- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2016-04-18 21:48:26