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chuxue-no.1

新虫 (初入文坛)

[求助] 外延生长(100)或者(110)晶向的ZnO薄膜,哪种晶向的Si衬底与之晶格失配系数最小?

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外延生长(100)或者(110)晶向的ZnO薄膜,哪种晶向的Si衬底与之最匹配,或者说与之晶格失配系数最小?
大多数的Si衬底都是(100)晶向的,这个晶向与所要ZnO的晶格失配系数比较大,无法达到较好的晶体,哪种更加匹配呢?
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