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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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dostrich

金虫 (小有名气)

[求助] 纳米压印模板的寿命 已有3人参与

请问用于制备PDMS软模板的Si硬模板(pattern的尺寸为条纹或者圆柱,直径200 nm左右)能用多少次?有没有比较好的养护方法?
PDMS在Si模板上固化后容易剥离吗?需要对Si经行处理吗?比如用Repel-silane ES处理下如何?或者上面镀一层比较薄的Ti/Au对延长模板寿命有帮助吗?
谢谢。
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tulu1989

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
11楼: Originally posted by 学士不学诗 at 2015-11-01 21:26:31
想请教楼主一个问题
软模板压印产生的变形缺陷应该怎么消除呢?

软压印模板畸变问题是一个难以克服的问题,主要包含横向畸变和竖向畸变两种,关于竖向畸变,可以通过提高PDMS硬度来缓解。关于横向畸变(lateral distortion),需要制备复合模板来提高模板的面内刚度。
12楼2016-01-19 19:50:11
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1156196116

新虫 (小有名气)

我开始接触这方面,还在购买模板的阶段,请问你在哪里买的啊?我看很多模板公司供应的都很贵,至少一万,一般好几万一块,我需要四块,这远远超出预算。呜呜,你知道哪里有供应二次模板的吗?就是用贵的翻印出来的模板,谢谢你!

发自小木虫Android客户端
2楼2015-09-10 09:01:29
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dostrich

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 1156196116 at 2015-09-10 09:01:29
我开始接触这方面,还在购买模板的阶段,请问你在哪里买的啊?我看很多模板公司供应的都很贵,至少一万,一般好几万一块,我需要四块,这远远超出预算。呜呜,你知道哪里有供应二次模板的吗?就是用贵的翻印出来的模 ...

自己用ebl写呀

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-09-10 10:19:22
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dostrich

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 1156196116 at 2015-09-10 09:01:29
我开始接触这方面,还在购买模板的阶段,请问你在哪里买的啊?我看很多模板公司供应的都很贵,至少一万,一般好几万一块,我需要四块,这远远超出预算。呜呜,你知道哪里有供应二次模板的吗?就是用贵的翻印出来的模 ...

而且你要多大的面积呀 不应该那么贵吧
4楼2015-09-10 23:19:06
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