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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 纳米压印模板的寿命
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dostrich

金虫 (小有名气)

[求助] 纳米压印模板的寿命 已有3人参与

请问用于制备PDMS软模板的Si硬模板（pattern的尺寸为条纹或者圆柱，直径200 nm左右）能用多少次？有没有比较好的养护方法？
PDMS在Si模板上固化后容易剥离吗？需要对Si经行处理吗？比如用Repel-silane ES处理下如何？或者上面镀一层比较薄的Ti/Au对延长模板寿命有帮助吗？
谢谢。
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1楼 2015-09-10 05:05:12
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dostrich

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1156196116 at 2015-09-10 09:01:29
我开始接触这方面，还在购买模板的阶段，请问你在哪里买的啊？我看很多模板公司供应的都很贵，至少一万，一般好几万一块，我需要四块，这远远超出预算。呜呜，你知道哪里有供应二次模板的吗？就是用贵的翻印出来的模 ...

自己用ebl写呀

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3楼2015-09-10 10:19:22
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1156196116

新虫 (小有名气)
我开始接触这方面，还在购买模板的阶段，请问你在哪里买的啊？我看很多模板公司供应的都很贵，至少一万，一般好几万一块，我需要四块，这远远超出预算。呜呜，你知道哪里有供应二次模板的吗？就是用贵的翻印出来的模板，谢谢你！

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2楼2015-09-10 09:01:29
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dostrich

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1156196116 at 2015-09-10 09:01:29
我开始接触这方面，还在购买模板的阶段，请问你在哪里买的啊？我看很多模板公司供应的都很贵，至少一万，一般好几万一块，我需要四块，这远远超出预算。呜呜，你知道哪里有供应二次模板的吗？就是用贵的翻印出来的模 ...

而且你要多大的面积呀 不应该那么贵吧
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4楼2015-09-10 23:19:06
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Magiclolita

铁虫 (初入文坛)
光知道 Si mold 在实际纳米印刷应用中寿命大概300-400次左右，用来制备PDMS软模板就不了解了，剥离时候PDMS很容易出现缺陷，特别是宽高比较大的时候。
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5楼2015-09-11 10:14:02
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