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sunnysky7893木虫 (小有名气)
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[交流]
做“磁控溅射或者直流溅射制薄膜”的虫友们过来帮帮忙，谢谢！
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大家都知道溅射是靠氩离子来轰击靶材来沉积薄膜，现在我的问题是氩气能够电离成氩离子，电离度是多少？等离子体的密度怎么测？ 另外，轰击出来的靶材元素能不能电离成带正电的离子呢？如果可以电离度是多少呢？ 谢谢！！！ |
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